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艾丽卡特ALICAT真空镀膜、溅射质量流量计/流量控制器

更新时间:2023-05-19   点击次数:664次

真空镀膜系统内净化气体和反应气体的输入需要快速的响应和精确的控制。


艾里卡特ALICAT质量流量控制器和压力控制器具有快速的控制响应速度和EtherCAT通讯模式。有了这种EtherCAT通讯模式,将不再需要EtherCAT转换器,仪表也能更轻松地整合到工业PLC网络中。


适用于CVD和ALD过程的防腐流量控制器

化学蒸汽沉积(CVD)和原子层沉积(ALD)过程所用腐蚀性气态和液态前驱体需要不会随时间推移而被腐蚀的质量流量仪表。ALICAT艾丽卡特S系列(MC、MCES、MCVS)质量流量控制器采用316L不锈钢材质的流量传感器和FFKM弹性体,能够忍受这些严酷的元素。

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老化质量流量控制器的插入式替代品

升级为艾里卡特质量流量控制器非常简单。我们的MCE系列产品满足SEMI对连接长度的规范要求,它可通过插入方式与众多其它生产商的旧版MFC兼容。艾里卡特MCV是旧版MFC的插入式替代品,配有集成式启动截止阀。

适用于反应溅射的快速氧气流量控制

通过快速控制反应气体流量,确保薄膜涂层的均匀性。艾里卡特产品控制响应时间仅50ms或更短,确保被引入您反应溅射过程的反应气体保持一致且可重复。我们将根据您的预期过程条件设置每一台流量控制器的PID调节功能,而且,如果您需要更改设置,您可在安装后随时更改这些设置。

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响应式气体流量控制,抑制压力波动

  • 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。

  • 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。

  • 耐用。MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。