气体质量流量控制器是质谱、色谱和燃烧分析等分析技术的关键部件。例如作为ICP-MS装置的一部分,紧凑型气体流量仪表用于向反应单元供气。
气体质量流量计适合此类要求严格的稳定气体流量控制、紧凑型、稳定以及与使用气体兼容的过程。在许多分析应用中,一个常见的因素是需要微小的稳定气流(流量范围:5 ml/min-1000 L/min),因为气流及其变化在测量中是直接可见的,气流稳定很重要。
气体流量控制器是一款适用于各种不同气体类型的仪表,适用于较小气体流量例如5 ml/min-1000 L/min的工艺气体之间。
在分析设备中,载气流量直接影响测量结果。例如一种物质在色谱柱中的保留时间直接取决于流体的稳定性。当流量波动时,测量也会波动。