氢燃料电池ALICAT耐腐蚀气体质量流量计，使用质量流量控制器测量和控制从0.5 SCCM到5000 SLPM的气体流量，精度为读数的±0.5%或满量程的±0.05%，控制范围为0.01-100%（10000:1）。

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