简要描述：Alicat 气体质量流量控制器 耐腐蚀流量计 接液部件采用 316L 不锈钢，抗酸碱、耐氧化，适配腐蚀气体如 Cl₂、H₂S、NH₃、SO₂、SiH₄

Alicat 气体质量流量控制器 耐腐蚀流量计

Alicat 气体质量流量控制器 耐腐蚀流量计

精度：±0.4% 读数 + ±0.2% 满量程，远超普通防腐流量计。

响应：测量响应 < 10 毫秒，控制稳定 < 100 毫秒，实时捕捉瞬态流量变化。

宽量程比：100:1 至 1000:1，一台仪表覆盖微小流量到大流量，减少备品备件。

多参数测量：同时测质量流量、体积流量、压力、温度，无需额外传感器。

内置 130+ 种气体数据库：含 32 种腐蚀性气体与绝大多数制冷剂，一键切换。

无需重新校准：菜单选择气体即可自动补偿，支持自定义 20 种混合气体。

适用广：从实验室微量（0.5 SCCM）到工业大流量（12,000 SLPM）全覆盖

即开即用：无需预热，上电即测。

本地操作：集成 LCD 显示屏，现场直接设置、查看、调零。

通信丰富：支持 RS-232/485、Modbus、Profibus、EtherCAT 等，无缝接入工控系统。

稳定性强：零点漂移（0.02% FS/℃），长期运行数据可靠。

密封：标准配置 FFKM (Kalrez) 全氟醚弹性体，化学稳定性强；可选 FKM、EPDM 等，适配特殊气体。

结构坚固：一体化不锈钢阀体，无易腐蚀塑料部件，延长在恶劣环境下的使用寿命。

适用于：

化工行业：腐蚀气体配比、尾气处理、酸性气体监测。

半导体：CVD 外延、刻蚀工艺中特种气体（如硅烷、氨气）控制。

科研实验室：催化剂研究、环境模拟、燃料电池测试。

生物医药：发酵过程、气相色谱、无菌气体控制。