简要描述：艾里卡特微型气体流量计 适用于研发实验 产品体积小巧、响应迅速，可实现 SCCM 级别微量气体稳定测量，内置多种气体补偿数据库，无需重新校准即可切换不同气体。具备高精度、低漂移、耐高温高 压等特点，广泛适用于实验室、科研分析、精密化工、半导体工艺等微量气体测控场景。

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