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小流量气体质量流量计

简要描述:小流量气体质量流量计应用于多个OEM设备场合,尤其适合微小流量测量,

基础信息

产品型号

3200

厂商性质

代理商

更新时间

2026-04-16

浏览次数

8
详细介绍
产地进口加工定制
质保1年

小流量气体质量流量计

日本KOFLOC
3200系列质量流量控制器-微小流量

应用于多个OEM设备场合,尤其适合微小流量测量

适用于燃气低压力、泄漏测试的低流量、半导体等使用

±15VDC供电性能稳定,0-5V模拟信号更加通用

可定制0.02-1SCCM微小流量
 

小流量气体质量流量计

性能参数:

3200质量流量控制器

量程(N2)

1SCCM-20SLPM、小0.02-1SCCM

精度

±1.0%FS

重复性

±0.2%FS

响应时间

1秒以内

耐压

1.0Mpa

进口大压力

O.3Mpa

动作压差

0.05-0.3Mpa

泄漏率

1*10-8pa·m³/s以下

温度范围

5-45℃

湿度范围

10-90%RH(不能结露)

材质

本体SUS316L

 

密封圈NBR、PTFE、FKM等

电气接口

DB9

模拟信号

0-5V输入/输出

供电

+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA;

管路连接

标配1/4F9

 

选配1/8F9、1/4UJR、RC1/4

重量

约1000g

 

使用注意

一:进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用,保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。

二:用肥皂水对管路进行泄漏检测时,只能将肥皂水喷洒在管路接头上,不能喷在仪表或电气插头上。

三:安装前,请将设备管路进行整体吹扫。

四:耐压1.0Mpa,进口大压力5公斤。

五:需要进行零点漂移清零的时候,确认进/出口没流量没压力下 再操作。

 
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