简要描述：微量气体流量计核心优势在于毫秒级的响应速度和宽量程比，支持质量流量、体积流量及压力的多参数实时显示。设备通常配备彩色触摸屏，操作直观，且支持多种通讯接口，便于集成到自动化系统中。

微量气体流量计

微量气体流量计为实验室研发及精密制造设计。该系列产品采用层流压差技术，具备高的测量精度与灵敏度，能够精准捕捉微小流量的变化。  

其核心优势在于毫秒级的响应速度和宽量程比，支持质量流量、体积流量及压力的多参数实时显示。设备通常配备彩色触摸屏，操作直观，且支持多种通讯接口，便于集成到自动化系统中。凭借无移动部件的坚固设计，该流量计在半导体、真空镀膜等领域表现良好，是微量气体控制与监测的理想选择。

概述：

应用于多个OEM设备场合，尤其适合微小流量测量

适用于燃气低压力、泄漏测试的低流量、半导体等使用

±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用

可定制0.02-1SCCM微小流量

特点：

• 配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器，实现高精度，高速响应
• F.S.1 SCCM微流量支持（SR选项）

 尺寸图：

使用注意事项：

一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。

二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。

三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。

四：耐压1.0Mpa，进口大压力5公斤。

五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。
 

微量气体流量计

性能参数： 

电器连接：