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数字式质量流量控制器采用热敏传感器和数字化控制技术

更新时间:2023-07-31   点击次数:370次
  数字式质量流量控制器(DigitalMassFlowController)是一种先进的流量控制装置,用于准确测量和控制气体的质量流量。基于热式质量流量传感器的工作原理,通过测量气体传感器中的热敏电阻温度变化来确定气体的流量,并通过控制阀门的开度来调节气体的流量。
  

 

  其工作过程如下:
  
  1.测量:气体通过质量流量传感器时,流经敏感器的热线,并带走热量。热线上的热敏电阻会随着流过的气体质量流量的变化而改变温度。
  
  2.传感:质量流量传感器通过测量热敏电阻的温度来得到气体的质量流量信息。
  
  3.反馈:将测量得到的气体质量流量信息与设定值进行比较,得出误差信号。
  
  4.控制:根据误差信号,控制阀门的开度来调整气体的流量,使其逐渐接近设定值。
  
  数字式质量流量控制器通常由以下几个主要组件组成:
  
  1.质量流量传感器:用于测量气体的质量流量。传感器通常采用热敏电阻或热膜等材料来感应气体的温度变化,并将其转换为电信号。
  
  2.控制电路:负责对传感器测得的气体质量流量进行放大、滤波和线性化处理,同时将控制信号传递给阀门驱动器。
  
  3.阀门驱动器:根据控制电路的信号,控制阀门的开度来调节气体的流量。驱动器通常采用步进电机或伺服电机等机械装置。
  
  4.显示与操作界面:用于显示当前的流量数值和设定值,并提供用户可调整的操作界面,如旋钮、键盘或触摸屏。
  
  5.电源与通信接口:为质量流量控制器提供工作电源,并支持与计算机或其他设备进行通信,实现数据的记录与远程监控。
  
  相比传统的流量控制装置具有以下特点:
  
  1.高精度:采用热敏传感器和数字化控制技术,能够实现对气体质量流量的高精度测量和控制。
  
  2.快速响应:数字式控制系统能够实时监测和调节气体流量,实现快速、准确的响应。
  
  3.宽测量范围:可提供多种规格和型号,适用于不同范围的气体质量流量测量和控制。
  
  4.稳定性好:采用先进的控制算法和阀门驱动技术,能够实现稳定性好、抗干扰能力强的气体流量控制。
  
  5.方便操作:具备用户友好的显示与操作界面,可通过旋钮、键盘或触摸屏等方式进行参数设定和操作。
  
  6.多种通信接口:支持多种通信协议和接口,实现与计算机、PLC等设备的连接和数据传输。
  
  应用领域:
  
  1.半导体制造:用于气体流量控制和调节,在半导体工艺中的气相沉积、化学气相沉积等过程中保证流量的精确控制。
  
  2.光伏工业:用于太阳能电池片制造中的各个工艺步骤,如清洗、溅射蒸发、薄膜沉积等,确保气体流量的准确控制。
  
  3.制药工业:用于药品生产过程中的微量气体搬运、药液喷雾干燥等环节,保证药品质量和生产效果。
  
  4.实验室研究:用于科研领域的实验室,如化学、物理、生物等实验中对气体流量的测量和控制。
  
  5.其他工业领域:包括食品加工、环保治理、气体分析等行业,都需要对气体流量进行精确测量和控制。
  
  数字式质量流量控制器是一种先进的流量控制装置,采用热敏传感器和数字化控制技术,能够实现对气体质量流量的高精度测量和控制。其结构组成包括质量流量传感器、控制电路、阀门驱动器、显示与操作界面以及电源与通信接口等。具有高精度、快速响应、宽测量范围、稳定性好、方便操作和多种通信接口等特点。广泛应用于半导体制造、光伏工业、制药工业、实验室研究和其他工业领域,为各行各业的生产和研究提供了准确可靠的气体流量控制解决方案。