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数字式质量流量控制器在多行业中的应用

更新时间:2024-06-12   点击次数:233次
  数字式质量流量控制器是一种精确控制和测量气体流量的仪器。广泛应用于半导体制造、化工生产、生物科技、材料研究以及食品加工等领域,其中对气体流量的精确控制至关重要。基于热传导或差压原理来测量气体的质量流量。在热传导型dmfc中,传感器通过两个温度传感器之间的热量转移来测量流量。其中一个传感器被加热,而另一个则保持在环境温度。当气体流动时,热量从加热的传感器转移到未加热的传感器,转移的量与质量流量成正比。控制器根据这种热量转移来调整阀门的开度,从而控制流量。
 

 

  在差压型dmfc中,利用气体通过一定形状的通道时产生的压力变化来测量流量。该压力差与流过控制器的气体质量流量直接相关。通过测量压力差并使用相应的算法,控制器可以计算出准确的质量流量,并根据需要调节阀门。
  数字式质量流量控制器的主要组件:
  1.流量传感器:用于检测流经控制器的气体流量。
  2.控制阀:通常是一个电子驱动的比例阀,用于调节流量。
  3.微处理器:接收来自流量传感器的信号,并计算所需的阀门位置以维持设定的流量。
  4.显示界面:提供用户交互接口,可以是数字显示屏或者集成到更大的控制系统中。
  5.通讯接口:如rs-232、rs-485、以太网或者无线模块等,用于将dmfc集成到自动化系统中。
  特点:
  1.高精度和重复性:dmfc能够提供非常精确和可重复的流量控制,误差通常小于1%。
  2.快速响应时间:能够迅速适应流量设定的变化,对于动态过程控制尤为重要。
  3.宽流量范围:通过不同的量程选择,dmfc可以覆盖从几毫升每分钟到数千升每分钟的流量范围。
  4.多气体兼容性:可以校准以适应多种不同的气体,包括腐蚀性或危险性气体。
  5.易于集成:数字接口使得dmfc可以轻松集成到复杂的控制系统和自动化过程中。
  6.自我诊断功能:现代dmfc具备自我诊断和报警功能,有助于预防性维护和故障排除。
  数字式质量流量控制器的应用领域:
  1.半导体制造:在蚀刻、沉积和掺杂过程中,精确控制工艺气体的流量。
  2.化学气相沉积(cvd):用于制造光纤、太阳能电池和其他高科技产品。
  3.食品加工:控制食品包装中的气体混合比例,例如调节大气保鲜包装中的气体成分。
  4.生物反应器:精确控制输入到生物反应器中的氧气和营养气体的流量。
  5.环境监测:在空气质量监测和排放控制中使用dmfc来确保准确测量。