Alicat质量流量控制器助推纳米级制造在过去很多年中，人们对计算能力的需求不断增长，导致电子产品的复杂性和产量都呈指数级增长。纳米级制造的高成本和高灵活性已成为开发创新产品的主要障碍。超低成本、高性能制造工具的新颖平台通过将先进的处理能力与大尺寸的基板分离，从而消除了这一障碍。使用较小的基板也可以提高性能，并优于现有的商用工具。一直致力于*和扩展其微细加工和纳米加工能力，并不断寻找可以帮助实现这一目标的新技术。Alicat半导体压力控制器和MFC系列质量流量控制器提供了一个...

如何在使用中保持质量流量控制器的精度？质量流量控制器是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门，阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，在工作的过程当中，控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，即压差。而质量流量控制器的工作压差范围通常为0.1～0.3MPa，若压差低于低值(0.1MPa)，有可能控制达不到满量程值;若高于(0.3MPa)，有可能关闭时流量不能小于2%F.S...