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Alicat质量流量控制器选型指南

更新时间:2023-07-27   点击次数:749次

工作原理

Alicat层流压差式质量流量计与高可调比的电磁比例阀结合,再配合高效率的PID控制算法,组成气体质量流量控制-反馈回路,实现气体质量流量的监控,这就是Alicat MFC的工作原理。

除了质量流量控制模式,Alicat MFC还可以切换到体积流量控制器模式,压力(绝压或表压)控制模式,在对应的控制模式下可以实现不同参数变量的控制。

主要特点

Alicat 质量流量控制器具有以下特点:

1.响应快:特殊的结构和工作原理,最快可达到100ms响应,响应时间与实际工况和PID参数设置有关,可通过调节PID值改变响应速度和流量稳定度。

2.无需预热:上电即可使用,无需提前预热,节省了等待时间。

3.多参数测量/控制:内置温度、压力传感器,可同时显示气体压力、温度、质量流量、体积流量等多种参数,可选择控制质量流量、体积流量或压力。如果选配了累计流量功能,还可以控制批量气体累计流量。

4.背光液晶屏:具有单色或彩色液晶屏,带屏幕背光灯,可以更直观的查看实时数据,方便读数和调试。

5.支持上百种气体:内置100多种气体的校准数据,切换气体模式后即可测量/控制不同气体,无需换算或重新校准。

6.通讯和操作模式:有多种数字通讯和模拟信号模式可供选择,以便采集和记录数据,也有面板按键可手动操作调试。

7.精度:普通精度为±(0.8%读数+0.2%量程);高精度为±(0.4%读数+0.2%量程)。

8.量程:量程范围宽,可定制。常规流量计最小量程为0~0.5SCCM,最大量程为0~5000SLPM。量程比200:1

型号系列

Alicat质量流量控制器产品有多种不同系列,以满足不同客户和应用的需求。

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典型应用

1. 气体混合、稀释,标准气体发生器流量控制。常用型号:MC, MCR, MCS, Basis

2. 大气采样仪、分析仪器气体流量控制常用型号:MCMCSMCR

3. 燃烧控制,火焰温度控制常用型号:MC, MCR, MCRW, Basis

4. 氮化炉、多用炉内气氛控制常用型号:MCRMCRSLCS

5. 光伏制造,多晶硅炉气氛控制常用型号:MCHMCR

6. 生物发酵罐气氛控制常用型号:MCBasis

7. 新能源、燃料电池测试系统。气体流量或压力控制。常用型号:MC, MCR, PCR

8. 光纤制造常用型号:MC

9. 泄漏检测常用型号:MCMCWMCD

10. 真空镀膜常用型号:MCMCV

11. 高压应用常用型号:MCQ


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选型参数

为了选择适合你应用的质量流量控制器,我们需要确定以下参数。

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如果您有应用或选型方面的疑问,欢迎联系我们,我们诚挚的希望可以帮到您!