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日本KOFLOC内抛光质量流量控制器

更新时间:2020-12-17

简要描述:

日本KOFLOC质量流量控制器-内抛光,它实现了无焊接结构(VCR规格),金属密封的基本性能,以及半导体工艺气体控制所需的±1%精度。板载传感器的响应能力。它具有出色的分辨率,可以处理1 sccm(N2)的微流量。

厂商性质:代理商点击量:83
日本KOFLOC内抛光质量流量控制器
产地进口加工定制
质保1年

日本KOFLOC质量流量控制器-内抛光概述:

  • 通过使用温度跟踪型电流差检测流量传感器实现高精度,高速传感器响应
  • 采用电磁铁电磁阀常闭阀
  • 由于无焊接结构(VCR规格),金属密封,泄漏低
  • 采用隔膜阀,减少死体积
  • 面对面,体型和接线连接与其他公司的更换兼容

日本KOFLOC质量流量控制器-内抛光

5100系列性能参数: 

5100系列电器连接:

 

5100系列使用注意:

一:进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用,保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。

二:用肥皂水对管路进行泄漏检测时,只能将肥皂水喷洒在管路接头上,不能喷在仪表或电气插头上。

三:安装前,请将设备管路进行整体吹扫。

四:耐压1.0Mpa,进口大压力5公斤。

五:需要进行零点漂移清零的时候,确认进/出口没流量没压力下 再操作。

警告

流量范围附带的规格(流量范围,精度,响应性等)是N2或空气转换中的规格。
另外,生产规格条件是初级侧小于300kPa,次级侧向大气开放。
有关压力条件,请另行咨询。

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