更新时间：2022-10-11
日本KOFLOC 5400系列质量流量控制器，它是一种通过金属密封结构具有高气密性的产品，并增加了切口接头。
| 产地 | 进口 | 加工定制 | 是 |
|---|---|---|---|
| 质保 | 1年 |
日本KOFLOC 5400系列质量流量控制器：
金属密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
适用于高真空、半导体、剧毒、强腐蚀气体环境下
±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用
日本KOFLOC 5400系列质量流量控制器
性能参数：
电器连接：
★使用注意
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0Mpa，进口大压力5公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。
警告
流量范围附带的规格（流量范围，精度等）是N2或空气转换中的规格。
有关MFC规格，请单独查询。
接线连接
Dsub 9针KFC标准引脚排列
日本KOFLOC 5400系列质量流量控制器
尺寸图：
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