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日本科赋乐金属密封数字式质量流量控制器

更新时间:2020-12-15

简要描述:

日本科赋乐金属密封数字式质量流量控制器
DF550C是基于DF200C基础上的金属密封产品,它除开拥有DF200
的高精度、高速度性能之外,在泄漏率方面做的更低,非常适用于
高真空、强腐蚀、剧毒气体等等在对泄漏率有高要求场合

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日本科赋乐金属密封数字式质量流量控制器
产地进口加工定制
质保1年

日本科赋乐金属密封数字式质量流量控制器
DF550C是基于DF200C基础上的金属密封产品,它除开拥有DF200
的高精度、高速度性能之外,在泄漏率方面做的更低,非常适用于
高真空、强腐蚀、剧毒气体等等在对泄漏率有高要求场合

泄漏率:1*10-11pa·m³/s以下

金属密封,适用于对泄漏率有高要求场合

日本科赋乐金属密封数字式质量流量控制器

性能参数:

 

量程(N2)

10SCCM-10SLPM

气体

所有气体

精度

±1.0%FS

重复性

±0.25%FS

有效范围

2-

响应时间

1秒以内

耐压

1.0Mpa

进口大压力

0.5Mpa

工作压差

0.05-0.3Mpa

泄漏率

1*10-11pa·m³/s以下

温度范围

5~50℃

精度保证温度

15~35℃

保存温度

-10~60℃

湿度范围

10-90%RH(不能结露)

材质

本体SUS316L

 

密封圈SUS316L

电气接口

DB9

通讯接口

RJ45

模拟信号

0-5V输入/输出

供电

+24VDC(±10%)300mA;±15VDC(±10%)300mA

管路连接

标配1/4UJR

  

重量

约1100g

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