材质	不锈钢,哈氏合金	精度等级	0.05
适用介质	气体,液体	连接方式	螺纹
压力范围	中压	温度范围	中温
工作温度	150℃	产地	国产
加工定制	是	质保	2年

半导体微小质量流量计
该系列产品原生半导体级设计，具备高速、高精、高洁净、高稳定优势，最快50ms级响应，0.02%F.S.高重复性与±0.05%F.S.高精度，具备EP/双V洁净度、HC/镍铬合金接液、全金属密封等可选配置，广泛应用于半导体制造（薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗、热处理等）场景。

参数项	参数详情
产品系列	GRYLLS-7000G 系列
流量范围	0.5SCCM-1000SLPM
量程比	50:1/100:1/200:1/500:1/1000:1/10000:1（可选）
多气体 / 多量程	可定制多种气体 / 多量程
精度	±1% F.S./±0.5% F.S./±0.05% F.S./±0.1% S.P.（可选）
响应速度	最快 <50ms；(200ms/500ms 可选)
重复性	±0.02% F.S.-±0.1% F.S.（不同量程，该数值会有区别）
线性度	±0.2% F.S.-±0.1% F.S.（不同量程，该数值会有区别）
环境温度使用范围	- 10℃到 60℃；高低温产品可达零下 200℃, 最高可达 250℃
零点温度漂移	±0.003%F.S./℃ - ±0.02%F.S./℃
跨度温度漂移	±0.05% Rate/℃ -±0.02% Rate/℃
工作压力	耐压 1Mpa, 压差根据流量大小在 0.1Mpa-0.3Mpa 之间，可定制极低压损产品和高压差以及耐高压产品
对外泄露率	1×10-11Pa・m3/sec/1×10-10Pa・m3/sec/1×10-9Pa・m3/sec（可选）
安装方向	任意方向安装，无需直管段（超过 500SLPM 量程建议水平安装，如果垂直安装建议流体下进上出）
接液材料	316L+KM45+PCTFE/FKM/EPDM/FFKM/316L VimVar+ PFA/HC, 镍铬合金（可选）
壳体防护等级	IP40
工艺	流体抛光，机械抛光，电抛，钝化处理
密封方式	A: 金属密封 B: 弹性体密封
表面处理	双 V, 表面 Ra0.1um/EP, 表面 Ra0.25um/BA, 表面 Ra0.4um（可选）
显示屏	顶部显示屏可选
通信模式	0-5V,4-20mA,RS232, RS485,modbus, DeviceNet, EtherCAT,PROFIBUS,PROFINET,EtherNet/IP（除支持以上通讯协议外，还可定制或兼容其它通讯协议）
供电电源	9-30vDC 电源地与信号地内部隔离
电源功耗	11-30V(<8watt)
机械接头	VCR、卡套、IGS、内螺纹，其他可定制

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